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半导体大热,氟化工产业链能否焕发第二春?

发布时间:2020-06-05

被誉为“现代工业的粮食”的半导体行业近期引发诸多关注。

半导体行业主要是以集成电路为主,占据了80%以上的比重,因此大家在谈及半导体的时候,基本都是在谈集成电路。

集成电路的产业链又分为:原材料及设备——ic设计——ic制造——ic封装测试——下游应用。

那么萤石——氟化工产业链的哪些产品会应用到半导体行业呢?


01 电子级氢氟酸


其中,该过程中,会利用电子级氢氟酸清洗晶圆表面,或是应用在芯片价格过程中的清洗和蚀刻等工序上。

据了解,电子级氢氟酸是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一。

目前,电子级氢氟酸主要运用在集成电路、太阳能光伏和液晶显示屏等领域,其中第一大应用市场是集成电路领域,约占电子级氢氟酸总消耗量的47.3%;其次是太阳能光伏领域,占比22.1%;再次是液晶显示器领域,占18.3%。

02 pfa

pfa全称是“四氟乙烯-全氟代烷基乙烯基醚共聚物”,又称“可溶性ptfe”。从名字就可得知,它除了和ptfe性质非常像外,还具有可熔融性。

pfa在很多高端的领域得到应用,如半导体产业。是制作硅片承载器、管道及其配件、半导体零件的主要材料之一。

由于氟化氢和氢氟酸的腐蚀性,一般的金属设备是不能用来生产高纯氟化氢的。要么用铂、金等贵金属材质,要么用增加防腐蚀内衬的不锈钢设备,内衬材料一般采用氟塑料pfa。

半导体产业对包装、运输的要求极高,大多属于易燃、易爆、强腐蚀的危险品。用于包装容器的材质必须耐腐蚀,不能有颗粒及金属杂质的溶出,这样才能确保容器在使用点上不构成对试剂质量的污染。在贮存的有效期内杂质及颗粒不能有明显的增加,而且要求包装后的产品在运输及使用过程中对环境不能有泄漏的危险。pfa是目前最广泛使用的材料之一。

除此,pfa还可用作半导体片托架、药液用管、接头、瓶、槽的内衬材料等,在半导体片制造中颇受欢迎。


03 含氟特气

含氟电子气体是电子信息材料领域特种电子气体的重要组成部分,目前全球电子气体市场中含氟电子气体系列约占其总量的30%左右。

主要用作清洗剂、蚀刻剂,也可用于掺杂剂、成膜材料等。典型的传统含氟电子气体包括四氟乙烷、六氟乙烷、三氟化氮、六氟化硫、六氟化钨、八氟丙烷、八氟环丁烷、六氟丁二烯等。

其中,四氟乙烷是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,六氟乙烷在半导体与微电子工业中用作等离子蚀刻气体、器件表面清晰提,还可用于光纤生产与低温制冷。


04 含氟聚酰亚胺

含氟聚酰亚胺有优良的耐热氧 化性、溶解性、成型加工性、耐高温性和电光学等物理性能。适于作胶豁剂、涂料、基体树脂、耐紫外光、耐热老化作用的电绝缘薄膜。


参考资料、来源:互联网
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